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光刻、刻蚀、薄膜沉积是半导体制造的核心工艺环节,支撑这些工艺的整机设备,精度取决于内部核心零部件的精度与批量一致性。但零部件制造,光有五轴机床远远不够,还需要有能够批量落地、稳定交付的配套加工与工艺服务能力。

半导体零部件加工,难在哪?异形薄壁腔体结构复杂、多材料加工、小批量多品种切换频繁。传统三轴多次装夹带来累计误差;多数厂商仅提供设备,工艺需要客户自行摸索,试错与报废成本居高不下。
针对以上痛点,埃弗米结合硬件基础与现场配套服务,拆解对应的解决方案与客户价值:

上述方案的落地,离不开埃弗米的行业积淀及自身硬件优势:
区别于单纯售卖设备,埃弗米技术团队可现场协同客户开展工艺开发、试切验证,缩短客户工艺落地周期。
目前,埃弗米的五轴设备已经在多个半导体核心零件场景实现了成熟落地:

需加工 1500 个 0.3mm 微孔,孔深超 10 倍径。传统加工断刀频发,易产生喇叭孔,孔位偏差大。
埃弗米依托全闭环微米定位 + 高转速低跳动主轴优势:
孔径精度由±0.02mm 提升至 ±0.01mm,相邻孔位置误差<±0.015mm;刀具异常断刀率下降 80%,孔壁无喇叭口,省去修孔工序。

叶片薄至 1mm,刀具长径比 14:1,切削振动突出。
埃弗米依托高刚性床身 + 转台抑振 + 专属切削方案:消除叶片振刀纹,动平衡振幅由 5‑8μm 优化至<3μm。
单件工时由>60h 压缩至<50h,加工效率提升 15%,满足高速工况要求。

如果您正在为半导体腔体振纹、换型效率或批量一致性头疼,欢迎后台留言咨询,我们会有专业技术团队为您解答!
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